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3D共聚焦显微镜的测量原理
3D共聚焦显微镜
是一种用于信息与系统科学相关工程与技术领域的工艺试验仪器。用于测量表面物理形貌,进行微纳米尺度的三维形貌分析,如3D表面形貌、2D的纵深形貌、轮廓(纵深、宽度、曲率、角度)、表面粗糙度等。
可针对如下需求开展测试:
(1)检测对表面磨损,表面粗糙度,表面微结构有要求的精密部件;
(2)MEMS,微型器件的检测,医药工程中组织结构的检测,如基因芯片等;
(3)半导体:检测微型电子系统,封装及辅助产品结构设计;
(4)太阳能:电池片栅线的3D形貌表征、高宽比测量。
尊敬的客户:
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