3D共聚焦显微镜的工作原理

3D共聚焦显微镜是一种用于信息与系统科学相关工程与技术领域的工艺试验仪器，拍摄分辨率不低于700万像素；Z轴行程：50 mm垂直分辨率：＜10nm 水平分辨率： 0.2μm。

　　共聚焦系统的光源为离子激光器或HeNe激光器，光源发出的激光束通过照明针孔后成为点光源P。点光源P通过分东器及如高数值孔径显微物镜的成像系统成像后，在部分透明的被测样品内形成像点P。从像点P发出的散射光及反射光(波长为λ1)和其他荧光(波长λf>λ1),反方向经过物镜和分光镜后，入射到单点探测器。单点探测器由探测器和放置在探测器前的针孔组成，3D共聚焦显微镜它可以减少探测器的有效面积。探测器一般使用的是光电倍增管或雪崩光电二极管，探测器接收到的电信号由计算机进行处理。

　　①如果激光束聚焦点的直径小于针孔的直径,则P处的针孔可以去掉。

　　②有些材料能自发荧光,有些材料则需要用合适的染料上色。

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3D共聚焦显微镜的工作原理